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光電產品有機廢氣處理 半導體集成電路、TFT-LCD、LED有機廢氣治理

2018-10-06
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光電產品有機廢氣處理 半導體集成電路、TFT-LCD、LED有機廢氣治理
詳細介紹:

光電產品有機廢氣處理 半導體集成電路、TFT-LCDLED有機廢氣治理

浙江蝴蝶视频環保多年在光電產品製造行業有機廢氣處理中總結,光電產品產生有機廢氣汙染的主要有五類產品的生產過程:半導體集成電路、TFT-LCDLED、印製電路板(PCB)、電子終端產品,下麵重點介紹半導體集成電路、TFT-LCDLED、印製電路板(PCB)有機廢氣治理。

光電產品有機廢氣處理 半導體集成電路、TFT-LCD、LED有機廢氣治理

1)半導體集成電路

半導體製造工藝中VOCs 主要來源於光刻、顯影工序,在這些工序中要用有機溶液(如異丙醇)對晶片表麵進行清洗,其揮發產生的廢氣是有機廢氣的來源之一。同時,在光刻過程中使用的光阻劑(光刻膠)中含有易揮發的有機溶劑,如乙酸丁酯等,在晶片處理過程中產生的有機廢氣也要揮發到大氣中,是VOCs 產生的又一來源。

2TFT-LCD

包括檢查和測試在內,TFT-LCD 的製造生產工藝可達到100 多道工序,生產過程中使用多種化學有機溶劑和特殊氣體,產生的VOCs 量大,組分複雜。TFT 液晶麵板生產排放VOCs 汙染物的工序主要集中在陣列工程和彩膜工程兩大部分。陣列工程中的光刻(塗膠、曝光和顯影),以及彩膜工程中的黑色矩陣BM 膜製造、彩色矩陣膜形成(紅、綠、藍,RGB)、保護膜生成、MVA 膜、PSPHoto Spacer)膜生成是產生VOCs 的主要工藝。同時,在成盒工程中清洗工序使用的有機溶劑揮發也會產生少量的VOCsTFT-LCD 的製造過程中產生的VOCs 主要是以異丙醇為主,其次依序是丙酮、單甲基醚丙二醇、單甲基醚丙二醇乙酸酯,這四種成分占了全部VOCs量的90%以上。

3LED

LED 電子組件生產產生的VOCs 汙染物主要來源於基片處理和光刻,LED 生產過程中產生VOCs 的種類主要有三氯乙烯、丙二醇醚酯、異丙醇、丙酮、丁酮等。

 

半導體集成電路、TFT-LCD LED 廢氣治理技術

 

半導體集成電路、TFT-LCD LED 三類產品的生產中所產生的廢氣的情況大致相同,除了VOCs 以外,還含有酸性氣體、堿性氣體和一些有毒氣體,風量大、濃度低。一般采用水吸收+沸石轉輪吸附濃縮-高溫焚燒的組合技術進行治理。

第一步通過水吸收(吸收塔)可以去除廢氣中的酸性氣體、堿性氣體和有毒氣體。在有些情

況下,酸性氣體、堿性氣體和有毒氣體集中單獨排放,不含有機物或有機物的濃度很低,隻通過水吸收工藝即可,無需加裝吸附設備。如TFT-LCD 的刻蝕工藝廢氣治理。

第二步沸石轉輪(轉筒)吸附濃縮+高溫焚燒,對去除了酸性氣體、堿性氣體和有毒氣體的

低濃度有機廢氣通過沸石轉輪(轉筒)吸附濃縮後進行高溫焚燒淨化。該技術目前在國外已經被普遍采用,特別是在台灣地區大量的液晶顯示器(TFT-LCD)的生產企業中均采用的是該技術。該技術淨化效率高(可達95%以上)、運行穩定、安全性好,目前在電子生產行業廢氣治理中尚無更好的技術能夠取代。

 

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